Технология интегральных микросхем — Виталий Иванович Смирнов
Аннотация к книге «Технология интегральных микросхем»
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».
Автор: Виталий Иванович Смирнов