Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие. 2-е издание — Евгений Эдуардович Бодров
Аннотация к книге «Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие. 2-е издание»
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Автор: Евгений Эдуардович Бодров