Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов 2-е изд. испр. —
Читать книгу Аннотация к книге «Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов 2-е изд. испр.» В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов…